Обзор отрасли полупроводникового оборудования Китая
В целом, оборудование местного производства в Китае демонстрирует относительно высокий уровень локализации в таких процессах, как удаление фоторезиста, очистка и травление. В последние годы достигнут значительный прогресс в таких процессах, как ХМП, термическая обработка и осаждение. Однако в области оборудования, связанного с измерениями, нанесением покрытий и проявкой, литографией и ионной имплантацией, китайские производители оборудования по-прежнему...
Читать дальше...