В России создали безмасочный нанолитограф: что это

Установка позволяет создавать наноструктуры. Рассказываем, как она работает.

Ученые из Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс для создания наноструктур, необходимых для работы микроэлектронного оборудования. Об этом сообщает РИА Новости со ссылкой на Минобрнауки России.

Этот комплекс состоит из двух частей. Первая часть представляет собой промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Вторая часть — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. 

Первый этап для создания наноструктур — процесс литографии (получение изображения на подложке), который обычно осуществляется на зарубежном оборудовании. Этот процесс требует много времени и больших финансовых затрат. Петербургские ученые предложили альтернативу — использовать технологию безмасочной нанолитографии. Это получение изображения на подложке без использования шаблона (маски).

Такая отечественная установка будет стоить около 5 миллионов рублей в отличие от 10-13 миллиардов рублей за иностранную, говорят ученые. 

Для работы прибора ученые создали специальное программное обеспечение, которое полностью автоматизирует процесс. Сейчас они дополняют софт системой обратной связи, чтобы уменьшить влияние человеческого фактора при эксплуатации устройства.